半導(dǎo)體參數(shù)精密分析儀主要由大功率電源/測(cè)量單元、中功率電源/測(cè)量單元、大電流電源/測(cè)量單元、高壓電源/測(cè)量單元、中電流電源/測(cè)量單元、多頻率電容測(cè)量單元、超大電流擴(kuò)展器等部分組成,通過(guò)加壓測(cè)流和加流測(cè)壓模式實(shí)現(xiàn)IV、CV曲線掃描,從而完成二極管、晶體管、場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)和絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)等半導(dǎo)體器件的擊穿電壓、泄漏電流、結(jié)電容等參數(shù)的精密測(cè)試。

半導(dǎo)體參數(shù)精密分析儀的計(jì)量特性
1、直流電流輸出
①輸出范圍:±(1pA~10μA);最大允許誤差:±(0.3%~6%)。
②輸出范圍:±(10μA~10A);最大允許誤差:±(0.05%~0.5%)。
2、直流電流測(cè)量
①測(cè)量范圍:±(1pA~10μA);最大允許誤差:±(0.08%~6%)。
②測(cè)量范圍:±(10μA~10A);最大允許誤差:±(0.05%~0.5%)。
3、直流電壓輸出
輸出范圍:±(100mV~3000V);最大允許誤差:±(0.05%~0.2%)。
4、直流電壓測(cè)量
測(cè)量范圍:±(100mV~3000V);最大允許誤差:±(0.05%~1%)。
5、脈沖電流
測(cè)量范圍:±(10A~1500A);最大允許誤差:±(0.5%~2%);單脈沖,脈沖度:250μs~10ms。
6、頻率
輸出范圍:1kHz~5MHz;
最大允許誤差:±0.01%;
工作電平:10mV~10V;
工作波形:正弦波。
7、電容測(cè)量
測(cè)量范圍:1pF~100nF;
最大允許誤差:±(0.1%~1%);
工作電平:10mV~10V;
工作頻率:1kHz~5MHz。
注:以上技術(shù)指標(biāo)不作合格性判別,僅提供參考。
JJF2009-2022半導(dǎo)體參數(shù)精密分析儀校準(zhǔn)規(guī)范目錄
引言(Ⅱ)
1 范圍(1)
2 引用文件(1)
3 概述(1)
4 計(jì)量特性(1)
4.1 直流電流輸出(1)
4.2 直流電流測(cè)量(1)
4.3 直流電壓輸出(2)
4.4 直流電壓測(cè)量(2)
4.5 脈沖電流(2)
4.6 頻率(2)
4.7 電容測(cè)量(2)
5 校準(zhǔn)條件(2)
5.1 環(huán)境條件(2)
5.2 測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備(2)
6 校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法(4)
6.1 校準(zhǔn)項(xiàng)目(4)
6.2 外觀和工作正常性檢查(4)
6.3 直流電流輸出(4)
6.4 直流電流測(cè)量(6)
6.5 直流電壓輸出(7)
6.6 直流電壓測(cè)量(8)
6.7 脈沖電流(9)
6.8 頻率(10)
6.9 電容測(cè)量(11)
7 校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)(11)
8 復(fù)校時(shí)間間隔(12)
附錄 A 原始記錄格式(13)
附錄 B 校準(zhǔn)證書內(nèi)頁(yè)格式(17)
附錄 C 主要項(xiàng)目校準(zhǔn)不確定度評(píng)定示例 (21)
說(shuō)明
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